Temel prensip, düşük sıcaklıkta sterilizasyon sağlamak için VHP'nin güçlü bakteri öldürücü özelliklerine dayanır. Genel süreç birkaç temel aşamadan oluşur. İlk olarak, bir nem alma işlemi hazne içindeki nemi azaltarak VHP sterilizasyonu için optimum koşullar yaratır. Ardından, VHP jeneratörü gıda sınıfı bir hidrojen peroksit çözeltisini ısıtıp buharlaştırır, hidrojen peroksit buharını hazneye gönderir ve konsantrasyonunu hızla artırır. Buhar, bakteri, virüs, mantar ve sporları etkili bir şekilde öldürür. Sterilizasyondan sonra, bir kalıntı giderme sistemi haznedeki kalıntı hidrojen peroksit miktarını 1 ppm'nin altına düşürerek operasyonel güvenliği ve sonraki ürünlerin güvenliğini sağlar. Aynı zamanda, ekipman, her iki kapının aynı anda açılmasını önlemek ve böylece farklı temiz alanlar arasındaki hava konveksiyonundan kaynaklanan çapraz kontaminasyonu önlemek için çift kapılı bir kilitleme cihazı ile donatılmıştır.
Ekipmanın yapısal tasarımı sterilizasyon ve temizlik gereklilikleri etrafında şekillenmiştir. İç kısımda ağırlıklı olarak 316L paslanmaz çelik, dış kısımda ise korozyon direnci ve kolay temizlik sağlayan 304 paslanmaz çelik kullanılmıştır. Yaygın konfigürasyonlar arasında VHP'ye özel jeneratör, H14 sınıfı HEPA filtreler, steril hava besleme sistemi, elektromanyetik kapı kilitleme sistemi ve sterilizasyon kalıntısı giderme sistemi bulunur. Bazı üst düzey modellerde ayrıca bir Siemens PLC kontrol sistemi ve otomatik veya manuel çalışmayı destekleyen dokunmatik ekranlı bir insan-makine arayüzü bulunur. Sıcaklık, nem ve basınç gibi parametreleri izleyebilirler ve bazı modellerde alarm fonksiyonları da bulunur.