หลักการสำคัญอยู่ที่คุณสมบัติการฆ่าเชื้อแบคทีเรียที่แข็งแกร่งของ VHP เพื่อให้เกิดการฆ่าเชื้อที่อุณหภูมิต่ำ กระบวนการโดยรวมประกอบด้วยขั้นตอนสำคัญหลายขั้นตอน ขั้นแรก กระบวนการลดความชื้นจะช่วยลดความชื้นภายในห้อง เพื่อสร้างสภาวะที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการฆ่าเชื้อ VHP ขั้นต่อไป เครื่องกำเนิด VHP จะให้ความร้อนและระเหยสารละลายไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์เกรดอาหาร ส่งไอระเหยของไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์เข้าไปในห้องและเพิ่มความเข้มข้นอย่างรวดเร็ว ไอระเหยนี้ฆ่าเชื้อแบคทีเรีย ไวรัส เชื้อรา และสปอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ หลังจากการฆ่าเชื้อ ระบบกำจัดสารตกค้างจะลดปริมาณไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ที่ตกค้างในห้องให้ต่ำกว่า 1 ppm เพื่อความปลอดภัยในการใช้งานและความปลอดภัยของผลิตภัณฑ์ที่จะนำมาใช้ในภายหลัง ขณะเดียวกัน อุปกรณ์นี้ยังติดตั้งอุปกรณ์ล็อกประตูสองบานเพื่อป้องกันไม่ให้ประตูทั้งสองบานเปิดพร้อมกัน จึงป้องกันการปนเปื้อนข้ามที่เกิดจากการพาความร้อนของอากาศระหว่างพื้นที่ทำความสะอาดที่แตกต่างกัน
การออกแบบโครงสร้างของอุปกรณ์คำนึงถึงข้อกำหนดด้านการฆ่าเชื้อและความสะอาด ภายในส่วนใหญ่ใช้สเตนเลสสตีล 316L ขณะที่ภายนอกใช้สเตนเลสสตีล 304 เพื่อป้องกันการกัดกร่อนและทำความสะอาดได้ง่าย การกำหนดค่าทั่วไปประกอบด้วยเครื่องกำเนิดไฟฟ้า VHP เฉพาะ, แผ่นกรอง HEPA เกรด H14, ระบบจ่ายอากาศปลอดเชื้อ, ระบบล็อคประตูแม่เหล็กไฟฟ้า และระบบกำจัดคราบตกค้างจากการฆ่าเชื้อ รุ่นไฮเอนด์บางรุ่นยังมีระบบควบคุม PLC ของ Siemens และหน้าจอสัมผัสแบบสัมผัสสำหรับมนุษย์และเครื่องจักร รองรับการทำงานแบบอัตโนมัติหรือแบบแมนนวล สามารถตรวจสอบพารามิเตอร์ต่างๆ เช่น อุณหภูมิ ความชื้น และความดัน และบางรุ่นยังมีฟังก์ชันแจ้งเตือนอีกด้วย