ห้องสะอาด: "ป้อมปราการปลอดเชื้อ" ปกป้องอุตสาหกรรมเทคโนโลยีขั้นสูง

I. หัวใจหลักของห้องคลีนรูม: สภาพแวดล้อมที่สะอาดและ "ควบคุมได้"

คุณค่าหลักของห้องคลีนรูมอยู่ที่ "ความสามารถในการควบคุม" ระดับความสะอาดของห้องคลีนรูมถูกจัดประเภทตามมาตรฐานความสะอาดของอากาศ (เช่น ISO 14644) ตั้งแต่ ISO 8 (สำหรับโรงงานอิเล็กทรอนิกส์ทั่วไป อนุญาตให้มีอนุภาคขนาด ≥0.5 ไมโครเมตรต่อลูกบาศก์เมตรได้ไม่เกิน 3.52 ล้านอนุภาค) ไปจนถึง ISO 1 (สำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์แกนกลาง อนุญาตให้มีอนุภาคขนาด ≥0.5 ไมโครเมตรต่อลูกบาศก์เมตรได้ไม่เกิน 10 อนุภาค) ซึ่งมีความคลาดเคลื่อนของความแม่นยำสูงสุดถึงหนึ่งล้านเท่า การบรรลุการควบคุมสภาพแวดล้อมที่เข้มงวดเช่นนี้ต้องอาศัยการทำงานร่วมกันของระบบหลักสามระบบ ได้แก่

1. ระบบฟอกอากาศ : “ปอด” แห่งความสะอาด

ตัวกรองอากาศอนุภาคประสิทธิภาพสูง (HEPA) / ตัวกรองอากาศที่มีการแทรกซึมต่ำพิเศษ (ULPA): เนื่องจากตัวกรองอากาศ HEPA เป็นแกนหลักของการฟอกอากาศ จึงสามารถกำจัดอนุภาคที่มีขนาดเล็กกว่า ≥0.3μm ได้มากกว่า 99.97% ในขณะที่ตัวกรองอากาศ ULPA สามารถกำจัดอนุภาคที่มีขนาดเล็กกว่า ≥0.12μm ได้มากกว่า 99.999% จึงมั่นใจได้ว่าอากาศที่เข้ามาในห้องคลีนรูมจะ "ปราศจากฝุ่นและปลอดเชื้อ"

การออกแบบการไหลเวียนของอากาศ: ขึ้นอยู่กับความต้องการของการใช้งาน อาจมีการนำ "การไหลเวียนของอากาศแบบลามินาร์แนวตั้ง" (เช่น ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งการไหลเวียนของอากาศจะครอบคลุมพื้นที่อย่างสม่ำเสมอตั้งแต่บนลงล่างเพื่อป้องกันการกระจายตัวของอนุภาค) หรือ "การไหลเวียนของอากาศแบบลามินาร์แนวนอน" (เช่น สำหรับโต๊ะทำงานในห้องปฏิบัติการ ซึ่งการไหลเวียนของอากาศจะปกป้องพื้นที่โดยรอบในแนวนอน) มาใช้ ในขณะเดียวกัน "การควบคุมแรงดันบวก/ลบ" จะป้องกันไม่ให้สิ่งปนเปื้อนจากภายนอกเข้ามา (เช่น ในห้องปลอดเชื้อของโรงงานยา) หรือป้องกันไม่ให้สิ่งปนเปื้อนภายในรั่วไหลออกมา (เช่น ในห้องปฏิบัติการความปลอดภัยทางชีวภาพ)

2. ระบบควบคุมอุณหภูมิ ความชื้น และความแตกต่างของความดัน: "รากฐาน" ของเสถียรภาพ

สถานการณ์ที่มีความแม่นยำสูงส่วนใหญ่มีข้อกำหนดด้านอุณหภูมิและความชื้นที่เข้มงวด ตัวอย่างเช่น ในการผลิตชิป จะต้องควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ภายใน ±0.1℃ และความชื้นให้อยู่ภายใน ±2% RH เพื่อหลีกเลี่ยงผลผลิตชิปที่ลดลงอันเกิดจากความผันผวนของสภาพแวดล้อม

มีการกำหนด "การไล่ระดับความแตกต่างของแรงดัน" ระหว่างโซนสะอาดที่แตกต่างกัน (เช่น แรงดันบวก 5-10Pa ในพื้นที่สะอาดเมื่อเทียบกับพื้นที่ที่ไม่สะอาด) เพื่อปิดกั้นการส่งผ่านของสารมลพิษผ่านการไหลของอากาศแบบมีทิศทาง

3. การจัดการควบคุมการปนเปื้อน: "แนวป้องกัน" แบบครบวงจร

เจ้าหน้าที่จะต้องผ่าน "ฝักบัวอากาศ" เพื่อกำจัดอนุภาคบนพื้นผิว และต้องสวมชุดห้องปลอดเชื้อ หน้ากาก และถุงมือเฉพาะทางก่อนเข้าไป

วัสดุจะเข้ามาทาง "กล่องผ่าน" เพื่อฆ่าเชื้อและทำให้ปราศจากเชื้อเพื่อป้องกันไม่ให้มีการนำเข้าสิ่งปนเปื้อนจากภายนอกเข้ามา

การทำความสะอาดทุกวันจะต้องใช้เครื่องมือที่ปราศจากเส้นใยและไม่ก่อให้เกิดอนุภาค ห้ามใช้ผลิตภัณฑ์ทำความสะอาดทั่วไปที่ก่อให้เกิดอนุภาคได้ง่าย